硬氪首发｜中科卓尔完成数亿元B+轮融资，进入多家头部掩模版厂商供应链

作者｜杨媛

编辑｜彭孝秋

硬氪获悉，近日，成都中科卓尔智能科技集团有限公司（以下简称“中科卓尔”）完成数亿元B+轮融资。

本轮投资方包括中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联及川流投资等。

本轮融资将主要用于高端石英空白掩模版核心工艺升级及量产产线建设，围绕超精密抛光、低缺陷清洗、真空镀膜等关键工序提升工艺稳定性和产品一致性，并以自主及协同研制的专用装备支撑规模化生产与稳定交付。

中科卓尔成立于2018年，是一家以高端石英空白掩模版研发、制造和销售为核心业务的半导体材料企业，面向半导体及显示面板产业提供空白掩模版和高精度石英抛光基板，同时开展精密光学元件与相关工艺装备研发。

空白掩模版是制造光掩模版的基础材料。

在芯片制造过程中，光掩模版承载电路图形，并通过光刻工艺将图形转移至晶圆；在显示面板制造中，光掩模同样承担图形转移的关键作用。